部位说明:  电子车间电气及工艺管道

要点说明:

1、针对微电子车间、半导体、SMT等车间制程工艺复杂，管道及电气线较多的管道及电源供给方式，需要综合考量设计。

2、本半导体车间电气及工艺制程管道采用天花吊顶洁净室内支架，预留驳接品及电源插接口，方便随时供取和切断。