部位说明:  高效过滤器安装检漏

要点说明:

1、高效过滤器安装后必须进行安装确认，进行检漏。

2、过滤器上游发尘采用压缩空气或惰性气体，次数和时间尽可能短。

3、游浓度为10-20μg以上为合格，高效过滤器的渗透率为0.01%以下为合格，光度计扫描移动速度不能大于5cm/s